Laboratoires à faible niveau de contamination par des particules dans l’air dont la température, l’humidité relative, la pression différentielle et d’autres paramètres environnementaux sont maintenus dans certaines limites.
Les salles blanches sont sous-divisées en vestiaires, manipulation de nanomatériaux et micro-nanofabrication. Elles sont conformes à la norme ISO 14644, qui équivaut à la classe ISO 8 selon l’USA Federal Standard 209 D.
Situation
Description
Conditions ambiantes des salles blanches :
- La limite pour les particules supérieures ou égales à 0,5 microns ne dépasse pas 100 000 et pour 5 microns elle ne dépasse pas 700 par pied cube d’air.
- Température moyenne de 21 ºC ± 3 ºC.
- Salles surpressurisées par rapport à l’extérieur avec une différence minimale de pression positive entre salles adjacentes de 12 Pa.
- Débit minimum de recirculation par heure = 20 R/h.
Les salles sont sous-divisées en plusieurs espaces :
- Salle de manipulation de nanomatériaux : pour préparation, nettoyage, fonctionnalisation et manipulation. Elle inclut 2 hottes d'aspiration de gaz et des équipements pour la dispersion des nanomatériaux : ultrasons, moulin à billes Dispermat, agitateurs mécaniques, etc.
- Salle de photolithographie : dotée d’un spin-spray coater pour la déposition de fines couches de polymères, résines photosensibles, époxys, etc., ainsi qu’une unité de photolithgraphie, microcontact printing y UV-nanoimprint. Hotte d’aspiration de gaz pour la manipulation de solvants. Microscope optique à lumière polarisée.
- Salle polyvalente adaptable selon les besoins. Équipement disponible : plasma etcher, étuves, MALS. Intégrant une hotte d’aspiration de gaz.
Les salles sont dotées de services généraux dont :
- Disponibilité d’eau d’une qualité ultra-pure à divers points des salles.
- Points d’utilisation d’air comprimé.
- Points d’utilisation d’Ar et N2.
Destiné à
- Entreprises industrielles dont les processus de fabrication exigent des enceintes à atmosphère contrôlée assurant des conditions de travail propres.
